一、个人简述
须颖具有20多年在英国和美国从事微纳米成像技术和超精密运动控制新技术和新产品的研发经验,在多家欧美国家的高科技公司任职,是国际上最早从事纳米定位平台产品研发和设计人员之一,主导开发出几十种不同规格种类的纳米运动平台产品,其中许多产品技术指标居于世界领先。
针对国内超精密运动控制和微纳检测技术的需求和发展现状,致力于微纳米检测设备和超精密运动控制的研发及产业化,为我国在该领域的快速发展起到了推动作用。联合多家重点院校、科研院所以及相关企业,共同申报了国家重大科学仪器设备开发专项、国家“十二五”科技支撑课题等项目。
二、学科领域
精密工程是微纳技术和先进制造技术的基础平台,在欧美和日本都已形成了专门的学术领域和相应的学术团体。总体上讲,精密工程可分为三个主要部分:精密加工与制造、精密测量与控制、精密检测与工艺。有机地将各个方向(如:精密加工、医疗工程、精密机床、半导体封装等)横向地结合起来,形成平台优势和跨学科优势。
具体研究方向主要集中在两个领域:
研究方向一:X射线三维成像与检测
1)X射线三维显微成像技术与设备研发
重点从事在微米或亚微米量级上实现X射线三维成像的技术开发及装备研制,通过新技术、新方法、新工艺的研究,不断提升成像系统的分辨率和检测精度。我们将精密工程与传统工业CT及医学CT技术紧密结合,形成一套新的显微CT成像技术体系,实现跨尺度的CT成像检测技术。以市场需求为牵引,确立高端检测设备开发的目标,将设备的技术指标和功能指标不断推向新的高度,形成完善的微米CT和纳米CT技术体系,为科研领域提供全新的微纳CT成像手段和工具。
研究内容包括:成像软件与算法的开发、核心器件(射线源、探测器、精密定位系统等)的开发、特殊器件的加工方法和工艺的探索、精密集成技术等
2)X射线显微成像的应用技术及装备的开发
在开发先进的CT成像技术和设备制造技术的基础上,广泛开展其应用技术,为现代产业的发展提供新的设计和制造的有力辅助手段。显微CT技术正在逐渐渗透到各个领域,包括:石油地质、先进制造、生物医学、先进材料等。我们将结合珠三角产业的特点,将重点放在先进制造和生物医学的应用上。首先,我们将重点开展显微CT在半导体封装检测的开发工作,针对PCB版、电子封装模块、芯片封装模块等的高端市场需求,开发新的层状CT扫描成像技术和设备。
研究方向二:超精密(纳米)位移测量与控制技术
精密位移测量与控制是开发智能检测仪器与设备的核心技术,该方向主要以超精密运动控制技术为主线,融合器件开发、方法开发和系统开发为一体。精密运动控制技术是一门综合性较强的组合技术,它包括:精密传感技术、精密驱动技术、精密机械技术、精密控制技术和精密集成技术。在未来的3-5年内,我们将在这些技术方面形成较大的提升和突破,尤其是在纳米运动控制技术和应用方面形成我们的技术优势,达到国际先进或领先水平。
三、教育背景
1992.1-1995.05 英国(University of Warwick),精密工程专业,获哲学博士学位;
1985.09-1987.012大连理工大学,机制专业,获理学硕士学位;
1978.03-1982.02 沈阳建筑大学,机制专业,获理学学士学位。
四、工作经历
2016.10-至今 广东工业大学“百人计划”特聘教授
2013.11-至今 天津三英精密仪器股份有限公司,董事长
2009.10-2013.10 三英精密工程研究中心,主任
2006.03-2009.10 Xradia Inc (美国),工程部主任
2000.12-2006.02 nPoint Inc (美国),技术总监
1995.10-2000.10 Queensgate Instruments Ltd (英国),高级工程师
2005.6 – 2005.10 精密工程实验室(美国) University of North Carolina at Charlotte,博士后
1982.03-1991.10 沈阳建筑大学,教师
五、学术兼职
2011.10 – 2015.7:天津大学特聘教授
2009.10 –至今:中国石油大学特聘教授
2010.2 –至今:中国计量测试学会计量仪器专业委员会常务委员
2016.10 –至今:北京市射线成像技术与装备工程技术研究中心技术委员会委员
2012.12 –至今:中国科学院高能物理研究所X射线光学与技术实验室学术委员会委员
六、主要荣誉
辽宁省”百人计划“特聘专家
英国注册工程师(CEng), 英国机械工程院会员(MIMechE)
Closed-loop control enables precise nanopositioning, 获美国杂志Laser Focus World 2002年度杰出技术交流奖。
七、代表性论文
1. Y.Xu, S.T.Smith, and P.D.Atherton, A metrological scanning force microscope, Precision Engineering, Vol. 19, No 1, 1996
2. Y. Xu and S.T.Smith, The determination of squeeze film damping in capacitance based cantilever force probes, Precision Engineering, Vol. 17, No 2, 1995, pp 94
3. 须颖, 邹晶, 姚淑艳. X射线三维显微镜及其典型应用[J]. CT理论与应用研究, 2015, 24(1): 967-977.
八、主要著作
The NanoPositioning Book, Queensgate Instruments Ltd, 1997
九、科研项目
1.(科技部)国家重大科学仪器设备开发专项(6318万元):“X射线三维显微成像检测系统研制与应用开发”2011年–2014年,项目负责人。
2. (科技部)国家科技支撑计划项目: “微纳技术计量标准和标准物质研究”, 任务九 - 纳米位移定位控制技术和系统的研发(350万元),2011年-2014年,任务负责人。
3.(科技部)国家高技术研究发展计划(863计划):“先进传感器技术与系统”,任务四:工业型扫描探针显微测试系统及关键技术(600万元),2012年-2015年,项目主要策划人和主要参加人。
4. 天津市科技计划项目:“石油/地质专用X光三维显微成像检测技术及设备”(500万元),2015年–2017年,项目负责人。
十、知识产权
10项美国和中国专利
十一、联系方式
须颖
办公地点:广东工业大学大学城校园工学2号馆机电工程学院
通信地址:广州市番禺区广州大学城外环西路100号
邮政编码:510006
联系电话:18322043659
电子邮箱: yxu@sypicom.cn