仪器设备名称

型号

产地

简介

激光共聚焦(3D测量)显微镜

OLS4000（奥林巴斯）

日本

OLS4000型激光显微镜总放大倍率达17280倍，平面分辨率为120nm，配置了405 nm激光和新开发的双共焦系统，可非破坏快速微米及亚微米级3D表面形貌观察（例如金属材料，半导体，太阳能电池等），无需制样即可取得3D图像，并进行测量，包括粗糙度，高度，宽度，体积，面积等各类几何数据测量。

超景深三维显微系统

VHX-600E

日本

超景深三维显微系统可以进行快速大景深三维合成和逐层拍照的高质景深合成画面，对3D微结构进行准实时的、非接触的观察、测量、记录。与普通光学显微系统相比，可实现光学显微系统20倍以上的超景深观察与测量，可以对不能对焦的凹凸的大型被观察物体进行鲜明立体的观察。可满足亚毫米至微米级的微结构表面3D加工形貌的观察、测量和记录。

红外线热像仪

TVS-500EX

日本

红外测试仪空间分辨率达1.07mrad，温度分辨率达0.05℃。红外可见图像组合功能可清晰观察热点位置。USB接口的应用软件，配置激光指示器和LED照明。用于各种研发和工业领域动态和准静态的温度测量, 具有图像处理功能和显示功能。

高速摄影仪

Fastec(HiSpec5)

美国

只要将高速摄像仪对准快速运动物体进行拍摄，便能捕捉到人眼所看不到的物体动态过程。如武器爆炸瞬间、物体破碎过程、人体运动机理变化等。

高精度功率分析仪

WT3000

日本

可用于电加工及超精加工与微细加工过程电参数测试、谐波分析、电压波动闪变测试、平均功率测试、能耗测试、效率测试等，通过配置不同模块可以满足粗、中、精加工检测的要求。

智能波形功率发生器

SW5250A

美国

为研究电加工及超精加工与微细加工过程提供有效的电源设备保障，该仪器可以灵活地输出各种脉冲波形，适应不同加工材料和工具电极材料，能在很宽的范围内调节脉冲的参数以满足粗、中、精加工的要求。

激光干涉仪

RENISHAW XL-80

英国

主要用于检定和校准机械制造装备的线性定位精度、重复定位精度,俯仰/扭摆精度以及导轨直线度的检测；能够测试微动平台、直线电机运动装置等设备的运动速度、加速度、爬行等动态性能的测试。

高精度阻抗分析仪

WK65120B

英国

提供精确快速的测试，高达120MHz 的测试频率，±0.05%基本精确度，目前广泛应用于物理性能测试、材料性能测试、介电质测试、化学生物内阻测试、强磁场导体测试、铁电材料研究、陶瓷材料研究以及薄膜材料的研究等。

测力台

KISTLER 9257B

瑞士

用于各种研发和工业领域动态和准静态的测量, 车削、铣削、磨削中切削力的测量, 风洞模型测量。

多功能激光微细加工系统

深圳大族激光SUVC-5W-B

中国

由光学系统、运动系统、控制系统和辅助系统组成。可进行紫外激光切割、抛光、划片、打标、钻孔及激光制作二维、三维结构等加工，可广泛应用在半导体、LED照明和太阳能电池等行业。

高速便携测试系统

ZonicBook/618E

美国

高速便携测试系统包含软件和硬件两部分。硬件主要用于加速、应变、力、电压、电流、温度、噪声和转速的测试，满足微电子封装设备开发中的需要。软件包含测试数据采集与信号分析软件和模态分析软件。

力反馈数据手套

CyberGlove Systems LLC 22，CyberGrasp Systems LLC

美国

CyberGlove II是CyberGlove公司推出的一款配置完备的VR手套产品，可测量达22个关节角度，精确度极高。产品采用独立版权的抗弯曲感应技术，将手和手指的动作准确地转变为数字化的实时角度数据。

串行数据分析仪

SDA-808Zi

美国

串行数据分析仪拥有较高的带宽，可以实时测量速度较快的串行数据，并能进行各种分析与处理。可满足开发数控系统、机电控制系统、微电子制造装备等方面课题的需要。

分光辐射亮度计系统

CS-2000

日本

分光辐射亮度计是光学测量仪器，是生产、调试发光电子元器件的必要测量仪器。可满足微电子制造装备、车用仪表、包装与印刷等课题的需要，特别是满足LED、OLED装备等方面课题的需要。

逻辑分析仪

TLA5204B

美国

逻辑分析仪可同时观察多路逻辑信息，看到数字电路真实的运行情况，捕抓间歇性系统故障，跟踪系统崩溃的原因，跟踪微处理机的实时代码数据等。可满足开发数控系统、机电控制系统、微电子制造装备等方面课题的需要。

IC封装焊接强度测试仪

DAGE 4000

英国

能完成半导体器件焊点强度拉力及推力测试，可实现二极管和三极管推球测试，IC芯片剪切力测试，金线拉力测试，提供不同的推拉力测试以用于焊点的质量检查。

基于EtherCAT总线的系统开发平台

集成

德国

通过选购德国倍福公司(Beckhoff)的实时以太网工业控制产品，构建基于EtherCAT的工业控制与数控技术的开发平台，满足开发数控系统、机电控制系统、工业自动化、微电子制造装备等方面课题的需要。

高速加工中心

DMU60T

德国

高速加工中心

光学扫描系统

COMET C200/C400Vario

德国

三维光学测量系统

三座标测量机

CORD3

意大利

三座标测量机

Freeform设计系统

SensablePlus V8.1

美国

Sensable公司Freeform触觉式设计系统

快速成型机

Dimension SST

美国

Stratasys FDM快速成型机

高温热压炉

400*400*500

中国

机械加压烧结的设备，广泛应用于硬质合金、功能陶瓷、结构陶瓷等在高温、高真空下进行热压成型烧结。

自动压机

EPM-30A2

中国

适用于粉末冶金、陶瓷材料、磁性材料及相关行业简单形状的粉末制品自动干压成型。

五轴超精密机床

350FG

美国

五轴超精密加工机床

五轴联动系统

FAGOR 8055

西班牙

8055系列数控系统是FAGOR高档数控系统,可实现7轴联动+主轴+手轮控制。

硬脆材料精密平面磨削装置

DMG-6011V

日本

适用于硬脆材料精密平面磨削的设备

精密CMP（化学机械抛光）装置

LGP-15-S-II

日本

适用于硬脆材料精密平面抛光的设备

精密运动平台

SMT-X500-Y500-Z

中国

精密运动平台

桌面型数控雕刻机

MDX-40(R)

日本

轻便桌面型数控雕刻机

气动主轴

HTS1501S-M2040

日本

NAKANISHI气动主轴

固体激光器

DAWA200

中国

它是电光调Q开关Nd:YAG脉冲激光器产品。它具有体积小、结构紧凑型、坚固耐用、工程化程度高的特点。适用于工业、科研等多种应用。

激光焊接机及工作台

WF300

中国

它是一种光纤传输激光焊接设备。对焊接难以接近的部位，施行非接触远距离焊接，具有更大的灵活性。激光束可实现时间和能量上的分光，能进行多光束同时加工及多工位加工，为更精密的焊接提供了条件。适用于光纤连接器、微电子元件、医疗器械、精密零件等焊接。

表面轮廓仪

XT20

德国

可用于表面粗糙度及轮廓的精密测量

非接触式激光扫描测振系统

POLYTEC PSV-400-M2

德国

Polytec多功能全场扫描式激光测振仪，是一款具有更高精度、更高测量速度、更简捷操作的数据采集与处理的可视化快速测振工具。

振动、噪声、模态测试系统

LMS SCADASⅢ SCM05

比利时

能够对多通道的噪声、振动、压力等信号进行测量和分析，对机械设备振动源识别、噪声源识别和两者的相关分析有独特优势。