魏昕 教授

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1.教育与研究经历

  • 1985年 华南理工大学 机械制造及其自动化专业 获得工学学士学位;

  • 1988年 北京航空航天大学 机械制造及其自动化专业 获得工学硕士学位;

  • 1997年 华南理工大学 机械制造及其自动化专业 获得工学博士学位;

  • 1999年6月-10月 泰国宋卡王子大学 讲学;

  • 2000年11月-2001年11月 英国诺丁汉大学 机械工程系 访问学者;

  • 2001年11月-2009年5月任广东工业大学机电工程学院副院长;

  • 2009年5月-至今任广东工业大学资产经营有限公司总经理。

2.研究方向

精密与超精密加工技术;微电子制造技术;新型难加工材料加工技术与方法;

3.职务、兼职和荣誉称号

  • 广东工业大学 教授、博士生导师;

  • 中国机械工程学会高级会员;

  • 广州市机电工程学会副秘书长;

  • 广东省机械工程学会设备维修分会秘书长;

  • 政协广东省九届、十届委员会常务委员;

  • 广东省高等学校“千百十工程”省级培养对象;

  • 广东省妇女第十一次大会代表;

4.主持或参与的主要项目

[1] 超薄不锈钢基板超精密化学机械抛光方法和机理研究,国家自然科学基金,研究经费:60万元,起止日期:2012.01-2015.12;

[2] 基于抛光垫表面微楔形槽流体动压效应的超薄不锈钢基板超精密化学机械抛光技术研究,教育部博士点基金,研究经费:6万元,起止日期:2011.01-2013.12;

[3] 硅片与光电晶体基片的高效低损伤超精密磨削技术研究,国家自然科学基金重点项目(NSFC-广东联合基金),研究经费:150万元,起止日期:2008.01-2011.12;

[4] 基于流体动压效应超薄不锈钢基板化学机械抛光技术研究,广东省自然科学基金,研究经费:5万元,起止日期:2010.10-2012.10;

[5] 面向企业设计创新的工业设计服务平台,广东省科技计划项目,研究经费:20万元,起止日期:2010.09-2012.08;

[6] 智能型高速节能PET瓶关键技术研究及产业化,广东省重大专项,研究经费:300万元,起止日期:2009.01-2010.12;

[7] 高架桥式龙门五面加工中心研究开发,番禺区科技计划项目,研究经费:30万元,起止日期:2009.01-2010.12;

[8] 基于力控制进给的硅片高效低损伤超精密磨削技术研究,广东省自然科学基金,研究经费:5万元,起止日期:2008.10-2010.10;

[9] 广东重点产业引进技术消化吸收再创新的模式研究,广东省科技计划项目,研究经费:5万元,起止日期:2007.09-2008.02;

[10] 短波长激光超精密冷抛光蓝宝石晶片的新方法及其机理研究,国家自然科学基金,研究经费:27万元,起止日期:2007.01-2009.12;

[11] 大型柴油机的节油长寿激光处理技术,省部产学研结合专项资金项目,研究经费:40万元,起止日期:2007.01-2008.10;

[12] 大直径硅晶圆高效低损耗新型线切割技术研究,广东省科技计划项目,研究经费:10万元,起止日期:2005.09-2007.08;

[13] 新型线切割硅晶片的过程及机理研究,广东省自然科学基金,研究经费:6万元,起止日期:2006.01-2007.12;

[14]蓝宝石晶片激光冷抛光方法及其关键技术研究,广州市科技计划项目,研究经费:12万元,起止日期:2005.09-2007.08;

[15]蓝宝石晶片短波长激光超精密冷抛光新方法及其关键技术研究,广东省科技计划项目,研究经费:8万元,起止日期:2004.09-2006.08;

[16] 新型光电子元件基片高效精密抛光技术研究,教育部回国人员科研启动基金,研究经费:2万元,起止日期:2003.01-2005.12;

[17] 新型光电子单晶材料超光滑表面加工产业化关键技术,广东省科技计划项目,研究经费:18万元,起止日期:2003.01-2004.12;

[18]新型金刚石锯片高速干切削混凝土制品研究,广东省自然科学基金,研究经费:8万元,起止日期:2000.01-2002.12;

5.获奖情况

广东省科学技术奖二等奖(2009年);

6.近期主要论文、著作和专利

[1]Xiangdong Yang, Xin Wei, et al. Development of Theory Model in Chemical Mechanical Polishing, Advanced Materials Research, 2012, Vols 403-408(EI收录)

[2] Xiangdong Yang, Xin Wei, Xiaozhu Xie, et al. Analysis of the main parameters in the chemical mechanical polishing process. Equipment Manufacturing Technology and Automation, 2011, Vol.317-319: pp.29-33. (EI收录)

[3] 何广涛,魏昕,谢小柱,谭伟明,宋悠全.蓝宝石对532nm激光吸收率的实验测量, 激光技术, 2011, 35(1).

[4] Wei Xin, Chen Zhuo.Experimental Study on Micro-nano Scratching of Mono-crystalline Silicon Wafer. Advanced Materials Research, 2010, Vol. 135: pp.458-461.

[5] Wei X., Xie X. Z., Huang J. F., Hu W. Experimental study on polishing sapphire substrate by Q-switched 355nm laser with nanosecond pulses.Proceedings of the 9th International Conference on Frontiers of Design and Manufacturing, 2010.(EI收录)

[6] 马成兴, 魏昕.基于FANUC-oi系统的宏编程技术探索及应用, 装备制造技术, 2010, (5).

[7]胡伟, 魏昕, 谢小柱.基于Modelica/Dymola的微谐振器建模与仿真,计算机仿真, 2010, 27(10).

[8]谢小柱, 魏昕, 胡伟, 黄福民.高吸收率非金属材料对CO2激光反射率的试验测定,广东工业大学学报, 2010, 27(3)

[9]胡伟, 胡国清, 魏昕, 谢小柱.微机电系统CAD研究及发展现状, 压电与声光, 2010, 32(4).

[10] Wei Xin, Guo Xiaoyan, Xie Xin.Influence of the condition parameters on UV pulsed laser polishing of sapphire wafer,Pacific Rim 2009 - 8th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, 2009

[11]Xie xiaozhu, Wei Xin, Hu Wei.Influence of beam polarizations on evaporative laser cutting nonmetallic materials within high absorb,Materials Science Forum.

[12] 陈卓, 魏昕, 任庆磊, 谢小柱.大尺寸硅片自旋转磨削运动分析及仿真, 金刚石与磨料磨具工程, 2009, (5)

[13] 丁立刚, 魏昕, 李国校.YS-200数控鞋楦扫描机关键部件的结构设计,现代制造技术与装备, 2009, (5)

[14] 舒继千, 魏昕, 袁艳蕊.单晶硅游离磨粒线切割技术研究,工具技术, 2009, 43(1)

[15] 胡伟, 魏昕, 谢小柱.基于Modelica的MEMS系统级多领域建模与仿真, 传感技术学报, 2009, 22(10)

[16] 杨向东, 魏昕, 周华.浅析数控系统的现场维修, 机电工程技术, 2009, (3)

[17] 胡伟, 胡国清, 魏昕, 谢小柱.吹瓶机中机械手凸轮曲线解析计算的研究, 机械设计与制造, 2009, (4)

[18] 杨向东, 邓大志, 魏昕, 周华.三轴数控铣床加工圆锥螺旋槽技术,机电工程技术, 2009, (4)

[19] 王宏莲, 魏昕, 周华, 梁东屹.基于SINUMERIK802D的MasterCAM后置处理器二次开发,装备制造技术, 2009, (5)

[20] 谢小柱, 魏昕, 胡伟.CO2激光切割模切板的表面质量,激光技术, 2009, 33(1)

[21] Wei Xin, et al. Effects of conditioning parameters on pad performances,Key Engineering Materials, 2008

[22] Xie Xiaozhu, Li Lijun, Wei Xin.Distribution of the intensity absorbed by evaporative front in laser cutting nonmetallic material.Optics and Lasers in Engineering, 2008

[23]李长航, 魏昕, 黄远祥. 胶印机递纸机构研究现状,机电工程技术, 2008, 37(6)

[24]谢小柱,李力钧,魏昕,胡伟.有机玻璃激光气化切割前沿,中国激光, 2008, 35(6)

[25]吴建锋, 陈东初, 叶树林, 魏昕.镁合金表面稀土转化处理技术的研究进展,轻合金加工技术, 2008, 36(10)

[26] 谢小柱, 魏昕, 胡伟.线偏振CO2激光对非金属材料切缝的影响,激光技术, 2008, 32(4)

[27] 胡伟, 黄平, 魏昕, 刘吉安, 谢小柱.圆柱螺旋压缩弹簧检测系统研究,机床与液压, 2008, 36(11)

[28] 胡伟, 魏昕, 谢小柱.化学机械抛光中抛光垫表面沟槽的研究, 制造技术与机床, 2008, (1)

[29] 黄加福, 魏昕, 谢小柱, 何广涛.影响激光抛光效果的因素分析,激光与光电子学进展, 2008, 45(12)

[30] 杜宏伟, 魏昕, 林悦香, 潘志国, 江景涛.LiTaO3晶片CMP过程的化学去除机理研究,半导体技术, 2008, 33(3)

[31] Xie Xiaozhu, Li Lijun, Wei Xin.Mechanism of CO2 laser cutting nonmetallic materials based on wall focusing effects,Proc. of SPIE, 2007

[32] 魏 昕,谢小柱,胡 伟等. 蓝宝石的抛光装置及其抛光方法,发明专利号:CN101664894,专利授权日期:2010.03.10

[33] 魏昕,熊伟,袁慧,胡伟. 抛光垫修整装置及修整方法,发明专利号:CN1792553,专利授权日期:2006.06.28

[34] 魏 昕,熊 伟,袁 慧,胡 伟. 抛光垫修整装置,发明专利号:CN2868553,专利授权日期:2007.02.14

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