陈云，教授，博士生导师
省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室
广东工业大学 机电工程学院 科研副院长
机械电子工程系第一党支部(广东样板党支部) 书记
邮箱：chenyun@gdut.edu.cn
【简介】
主要从事先进电子封装工艺与装备、半导体湿法刻蚀加工技术与器件、激光加工技术与装备等方向研究。主持国家自然科学基金优秀青年科学基金项目、国家重点研发计划项目、国家自然科学基金面上项目、GF重大工程项目、中央军委装备预研领域基金、广东省重点研发计划项目等科研项目近20项。在科学出版社出版专著1部，发表SCI论文70多篇，其中第一作者或通讯作者在Nature Communications、Advanced Materials、Small、Nano Letters等国际专业期刊上发表40篇；获发明专利授权130多件，其中第一发明人获美国发明专利授权11件、中国发明专利授权74件。担任SCI 1区期刊International Journal of Extreme Manufacturing青年编委、广东省半导体装备及零部件学会副理事长等。获国家科技进步二等奖（2023，排名第三）、广东省技术发明一等奖（2023，排名第二）、中国机械工业科学技术一等奖（2022，排名第二）、广东专利金奖（2022，排名第二）、湖南省优秀博士论文（2017）、高等学校科学研究优秀成果奖（科学技术）一等奖（2015，排名第五）、广东省科技进步一等奖（2018，排名第六）、机械工业联合会科技进步二等奖（2018，排名第九）、香江学者年会最佳海报奖（2019）等。入选国家优青（2024）、广东省科技创新青年拔尖人才计划（2022）、香江学者计划（2017）。
【教育背景与工作经历】
Ø 2021/01~至今，广东工业大学，机电工程学院，教授
Ø 2018/01~2020/12，广东工业大学，机电工程学院，副教授
Ø 2017/11~2019/11，香港中文大学，工学院，香江学者计划
Ø 2015/01~2017/12，广东工业大学，机电工程学院，讲师
Ø 2016/07~2017/07，美国佐治亚理工学院，访问学者
Ø 2013~2014，香港城市大学，系统工程与工程管理，研究助理
Ø 2009/09~2014/07，中南大学，机械工程，硕博连读
Ø 2005/09~2009/06，中南大学，机械设计制造及其自动化，本科
【代表性科研项目】
(1)国家自然科学基金优秀青年基金项目，半导体湿法刻蚀，52422511，2025/01-2027/12，主持
(2)国家重点研发计划项目，Mini LED 巨量转移用高速机器人关键技术与应用示范，2022YFB4701000，2022/11-2025/10,主持
(3)GF重大工程项目，******匹配技术研究，2024/03-2025/12，主持
(4)国家自然科学基金面上项目，第三代半导体纳米结构的电场/金属辅助湿法刻蚀加工新方法研究，51975127，2020/01-2023/12，主持
(5)国家自然科学基金青年基金项目，外力引导式化学刻蚀加工新方法制造皮升级微流体泵的基础研究，51605100，2017/01-2019/12，主持
(6)军委装备发展部领域基金，超高密度引线键合技术研究，JZX7Y20190263070501，2018/12-2020/12，主持
(7)国家“香江学者”计划，XJ2017050，实现硅在纳米级的均匀高纵横比金属辅助化学蚀刻，2017/11-2019/11，主持
(8)广东省自然科学基金重点项目，2022B1515120011，集成电路玻璃通孔3D集成封装与缺陷检测关键技术，2022/10-2025/09，主持
(9)粤港澳联合创新领域项目，2020A0505140008,面向高通量制造半导体三维微纳结构的光诱导湿法刻蚀技术，2021/01-2022/12，主持
(10)广东省重大科技专项，2019B020231001，临床用新一代测序系统的研发及其在精准医学中的应用，2019/01-2021/12，课题负责人
(11)广东省公益能力项目，2016A010102016，面向高性能白光LED封装的高质量粉胶分配关键技术研究，2016/01-2018/12，主持
(12)广东省青年拔尖人才项目，2021TQ06Z128，2022/11-2025/10，主持
(13)广州市基础与应用基础研究专题科技菁英“领航”项目，SL2024A04J01501，5nm及以下纳米通孔阵列的高精高效湿法刻蚀技术应用基础研究，2024/01-2027/12，主持
(14)广东省自然科学基金面上项目，微流体驱动的交替型刻蚀加工新方法制造折点纳米线阵列的基础研究，2017A030313314，2017/05-2020/04，主持
(15)广州市科学研究专项，外力引导式化学刻蚀新方法加工复杂微结构阵列的基础研究，201707010446，2017/05-2020/04，主持
(16)广州市军民融合补助项目，21ZK0355，超高密度引线键合技术研究，主持
(17)中国工程院战略咨询项目，20210429165050，电子工业后端制造装备及其关键零部件卡脖子的关键基础和产业链的短板问题实证研究，2021/01-2021/12，参加
(18)国家自然科学基金重大集成项目，U20A6004，高密度器件智能制造的基础科学问题研究，2021/01-2024/12，参加
(19)科技部973项目，2011CB013104，封装执行系统多参数耦合规律及复合运动生成，2012/01-2016/12，参加
(20)国家自然科学联合基金，U1601202，功能微结构阵列的新型加工理论与关键技术，2017/01-2020/12，核心骨干，排名第三
(21)广东省重大科技专项，2018B090906002,复杂构件表面激光精细制造工艺与装备，2019/01-2021/12，核心骨干，排名第二
(22)广东省公益能力项目，2015B010104008，细间距芯片低温三维倒装互连关键技术研究与装备开发，2015/09-2018/09，核心骨干，排名第三
(23)广东省自然科学基金重大基础培育项目，2016A030308016，集成电路三维封装中互连微通道形性协同的关键基础问题研究，2016/01-2020/12，核心骨干，排名第二
(24)广东省应用型科技研发专项资金项目，2015B010133005，LED倒装与高密度芯片模组化精准封装核心装备研制及产业化，2015/09-2018/09，核心骨干，排名第三
(25)广东省重大科技专项，2016B090905001，高密度超薄柔性封装基板研发与产业化，2016/01-2018/12，参加
【学术奖励】
(1)面向高性能芯片的高密度互连封装制造关键技术及装备，国家科技进步二等奖，2023（排名3/10）
(2)电子器件高密度封装的微细阵列制造关键技术与装备，广东省发明一等奖，2023（排名2/15）
(3)多芯片高密度集成的电子基板高精高效制造关键技术与应用，中国机械工业科学技术科技进步一等奖，2022（排名2/15）
(4)一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法，广东专利金奖，2022（排名2/7）
(5)三维窄节距、大跨度互连封装的关键技术与应用，高等学校科学研究优秀成果奖（科学技术）一等奖，2015（排名5/11）
(6)高端电子基板多品种高精高效制造核心装备、关键工艺及系统集成，广东省科技进步一等奖，2018（排名6/15）
(7)面向点位操作的高速精密测量与定位关键技术及应用，中国机械工业科学技术进步二等奖，2018（排名9/10）
(8)引线成形动力学过程实验与建模研究，湖南省优秀博士论文，2017（排名1）
(9)Engineering the Nanowire Geometry by Metal Assisted Chemical Etching Method，香江学者年会最佳海报奖，2019（排名1/1）
【代表性论著】
1)陈云、陈新 著，半导体湿法刻蚀加工技术，科学出版社，2023
2)Yun Chen, Yuanhui Guo, Bin Xie, Fujun Jin, Li Ma, Hao Zhang, Yihao Li, Xin Chen*, Maoxiang Hou, Jian Gao, Huilong Liu, Yu-Jing Lu*, Ching-Ping Wong, Ni Zhao*, Lightweight and drift-free magnetically actuated millirobots via asymmetric laser-induced graphene, Nature Communications, 2024, 15: 4334
3)Yun Chen, Bin Xie, Junyu Long, Yicheng Kuang, Xin Chen*, Maoxiang Hou, Jian Gao, Shuang Zhou, Bi Fan, Yunbo He, Yuan-Ting Zhang, Ching-Ping Wong*, Zuankai Wang*, Ni Zhao*. Interfacial Laser-Induced Graphene Enabling High-Performance Liquid-Solid Triboelectric Nanogenerator, Advanced Materials, 2021, 33, 2104290
4)Yun Chen, Liyi Li, Cheng Zhang, Chia-Chi Tuan, Xin Chen*, Jian Gao, Ching-Ping Wong*. Controlling Kink Geometry in Nanowires Fabricated by Alternating Metal-Assisted Chemical Etching. Nano Letters, 2017, 17(2): 1014–1019
5)Yun Chen, Cheng Zhang, Liyi Li, Chia-Chi Tuan, Fan Wu, Xin Chen*, Jian Gao, Yong Ding, Ching-Ping Wong*, Fabricating and Controlling Silicon Zigzag Nanowires by Diffusion-Controlled Metal-Assisted Chemical Etching Method. Nano Letters, 2017, 17(7): 4304-4310
6)Yun Chen, Yicheng Kuang, Dachuang Shi, Maoxiang Hou, Xin Chen*, Lelun Jiang, Jian Gao, Lanyu Zhang, Yunbo He, Ching-Ping Wong*, A triboelectric Nanogenerator Design for Harvesting Environmental Mechanical Energy from Water Mist, Nano Energy, 2020, 73, 104765
7)Yun Chen, Cheng Zhang, Liyi Li, Shuang Zhou, Xin Chen*, Jian Gao, Ni Zhao*, Ching-Ping Wong*, Hybrid Anodic and Metal-Assisted Chemical Etching Method Enabling Fabrication of Silicon Carbide Nanowires, Small, 2019, 15(7), e1803898
8)Yun Chen, Junyu Long, Shuang Zhou, Dachuang Shi, Yan Huang, Xin Chen*, Jian Gao, Ni Zhao*, Ching-Ping Wong*, UV Laser-Induced Polyimide-to-Graphene Conversion: Modeling, Fabrication and Application, Small Methods, 2019(3): 1900208
9)Yun Chen, Junyu Long, Bin Xie, Yicheng Kuang, Xin Chen*, Maoxiang Hou, Jian Gao, Huilong Liu, Yunbo He, Ching-Ping Wong*, One-step Ultraviolet Laser-Induced Fluorine-Doped Graphene Achieving Superhydrophobic Properties and Its Application in Deicing, ACS Applied Materials & Interfaces, 2022, 14(3), 4647–4655
10)Yun Chen, Yanhui Chen, Junyu Long, Dachuang Shi, Xin Chen, Maoxiang Hou, Jian Gao, Huilong Liu, Yunbo He, Bi Fan, Ching-Ping Wong, Ni Zhao. Achieving a Sub-10 Nm Nanopore Array in Silicon by Metal-Assisted Chemical Etching and Machine Learning. International Journal of Extreme Manufacturing, 2021, 3(3): 35104
11)Yun Chen*, Han-xiong Li, Xiuyang Shan, Jian Gao, Xin Chen, Fuliang Wang. Ultrasound Aided Smooth Dispensing for High Viscoelastic Epoxy in Microelectronic Packaging. Ultrasonics Sonochemistry, 2016(28): 15-20
12)Yun Chen, Zuohui Liu, Hengxu Wu, Maoxiang Hou, Li Ma*, Zhiming Xiao and Xin Chen. Highly Ordered Bamboo-like 4H-SiC Nanowire Array Enabling Low Turn-on Field and Excellent Field Emission Stability, IEEE Transactions on Electron Devices, 2024, 71(4):2830-2834
13)Dachuang Shi#, Yun Chen#*, Yao Yao, Maoxiang Hou, Xin Chen, Jian Gao, Yunbo He, Guoping Zhang, Ching-ping Wong*. Ladderlike Conical Micropillars Facilitating Underwater Gas-Bubble Manipulation in an Aqueous Environment. ACS Applied Materials & Interfaces, 2020, 12(37): 42437-42445
14)Dachuang Shi, Yun Chen*, Zijian Li, Shankun Dong, Liyi Li, Maoxiang Hou, Huilong Liu, Shenghe Zhao, Xin Chen, Ching-Ping Wong, Ni Zhao*, Anisotropic charge transport enabling high-throughput and high-aspect-ratio wet etching of silicon carbide, Small Methods, 2022, 6: 2200329
15)Yihao Li, Junyu Long, Yun Chen*, Yan Huang*, Ni Zhao*, Crosstalk-free, high-resolution pressure sensor arrays enabled by high-throughput laser manufacturing, Advanced Materials, 2022, 34: 202200517
16)Dachuang Shi, Yun Chen*, Xun Chen, Xin Chen, Jian Gao, Yunbo He, Ching-ping Wong*. Ladder-like tapered pillars enabling spontaneous and consecutive liquid transport. ACS Applied Materials & Interfaces, 2018, 10(40): 34735-34743
17)Bin Xie; Yuanhui Guo; Yun Chen*; Xiangyuan Luo; Hao Zhang; Junyu Long; Guanhai Wen; Maoxiang Hou; Huilong Liu; Li Ma; Xin Chen, Dual-indicators machine learning assisted processing high-quality laser-induced fluorine-doped graphene and its application on droplet velocity monitoring sensor, Carbon, 2024, 226:119231
18)Li Ma, Yanhui Chen, Yun Chen*, Maoxiang Hou, Xin Chen, Ching-Ping Wong, Yan Niu, Minghui Yao, Interfacial Stress and Crack Propagation Experimental Study in Mini-LED Chip Debonding, International Journal of Mechanical Sciences, 2024, 276:109384
19)Huilong Liu, Zhijian Sun, Yun Chen*, Wenjun Zhang*, Xin Chen*, Ching-Ping Wong*, Laser processing of flexible in-plane micro-supercapacitors: Progresses in advanced manufacturing of nanostructured electrodes, ACS Nano, 2022, 16(7): 10088-10129
20)Huilong Liu, Yixin Zheng, Kyoung-sik Moon, Yun Chen*, Dachuang Shi, Xin Chen*, Ching-Ping Wong*, Ambient-air in situ fabrication of high-surface-area, superhydrophilic, and microporous few-layer activated graphene films by ultrafast ultraviolet laser for enhanced energy storage, Nano Energy, 2022(94), 106902
21)Jian Wang, Shengzhu Yi, Zhilun Yang, Yun Chen*, Lelun Jiang*, Ching-Ping Wong, Laser Direct Structuring of Bioinspired Spine with Backward Micro-barbs and Hierarchical Microchannels for Ultrafast Water Transport and Efficient Fog Harvesting, ACS Applied Materials & Interfaces, 2020, 12(18): 21080-21087
22)Lelun Peng, Yuanxi Zhang, Jian Wang, Qingyuan Wang, Guizhou Zheng, Yuanyuan Li, Zhipeng Chen, Yun Chen*, Lelun Jiang*, Ching-Ping Wong. Slug-inspired Magnetic Soft Millirobot Fully Integrated with Triboelectric Nanogenerator for On-board Sensing and Self-powered Charging, Nano Energy, 2022, 99: 107367
23)Maoxiang Hou, Neng Wang, Yun Chen*, Zhengping Ou, Xin Chen, Fangcheng Shen, Jiang, Haiming*, Laser-induced graphene coated hollow-core fiber for humidity sensing. Sensors and Actuators B: Chemical, 2022, 359: 131530
24)Maoxiang Hou, Yixuan Bu, Yun Chen*, Yuanhui Guo, Guanhai Wen, Xin Chen, Fast-printed laser-induced-graphene pattern enabling directional thermal manipulation. International Journal of Heat and Mass Transfer, 2022, 197: 123303
25)Maoxiang Hou, Guanhai Wen, Jintao Chen, Bin Xie, Lu Yan, Yun Chen⁎, Xin Chen, Laser induced graphene based high-accurate temperature sensor with thermal meta-shell encirclement. International Journal of Heat and Mass Transfer, 2023, 217, 124719
26)Maoxiang Hou, Zhengping Ou, Junyu Long, Shuquan Ding, Guanhai Wen, Yun Chen*, Xin Chen, Machine learning enables accurate wire loop profile prediction for advanced microelectronics packaging, Journal of Manufacturing Processes, 2022, 84: 394-402
【代表性授权发明专利】
1)Yun Chen, Shengbao Lai, Biao Li, Zuohui Liu, Guanhai Wen, Maoxiang Hou, Xin Chen, Silicon carbide (SiC)-loaded graphene photocatalyst for hydrogen production under visible light irradiation and preparation thereof, US11969716B2, 2024/4/30(美国)
2)Yun Chen, Biao Li, Aoke Song, Shankun Dong, Shengbao Lai, Maoxiang Hou, Xin Chen, Film vibration device and fabrication method thereof and cleaning device including the same, US11969771B2, 2024/04/30(美国)
3)Yun Chen, Pengfei Yu, Aoke Song, Zijian Li, Maoxiang Hou, Xin Chen; Method for Manufacturing Core-Shell Coaxial Gallium Nitride (GaN) Piezoelectric Generator, US11963450B2, 2024/4/16(美国)
4)Yun Chen, Yuanhui Guo, Bin Xie, Lu Yan, Maoxiang Hou, Xin Chen, Magnetically Controlled Graphene-Based Micro-/Nano- Motor and Fabrication Method thereof, US11745160B2, 2023/09/05(美国)
5)Yun Chen, Yuanxiang Luo, Shuquan Ding, Canguang Lin, Zenguang Gao, Xin Chen, Xun Chen, Jian Gao, Method and device for preparing graphene-based polyethylene glycol phase change material, 2022/05/24, US11339316B1(美国)
6)Yun Chen, Yuanhui Guo, Yixuan Bu, Shuquan Ding, Shengyu Hou, Junyu Long, Xun Chen, Xin Chen, Jian Gao, Method for Producing Graphene Film with Thermal Management Function, 2022/05/17, US11331689B1(美国)
7)Yun Chen, Shuquan Ding, Yunbo He, Maoxiang Hou, Xin Chen, Jian Gao, Ni Zhao, Lanyu Zhang , et al, Method for processing an ultra-high density space interconnect lead under light source guidance, 2021/12/28, US11,211,357B2(美国)
8)Yun Chen, Long Junyu, Shuang Zhou, Xin Chen, Jian Gao, Qiang Liu, et al. Method and Device for Processing Microstructure Arrays of Polystyrene-Graphene Nanocomposites, 2020/12/01, US10,850,304B2(美国)
9)Yun Chen, Dachuang Shi, Xin Chen, Qiang Liu, Jian Gao, et al, Mass Transfer Method for Micro-Leds With a Temperature controlled Adhesive Layer, 2020/09/22, US10,784,400B2(美国)
10)Yun Chen, Xin Chen, Dachuang Shi, Xun Chen, Qiang Liu, Jian Gao, Chengqiang Cui. Method for Synchronous Electroplating Filling of Differential Vias and Electroplating Device Implementing Same, 2019/11/26, US10,487,411B1(美国)
11)Yun Chen, Xin Chen, Dachuang Shi, Jian Gao, et al, Method of Processing Nano-and Micro-Pores, 2019/10/01, US10,427,936B2(美国)
